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  2. 上海志望化工科技有限公司
    上海電氣

    電話:021-59549622


    上海志望化工科技有限公司

    電子標準氣體

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    1-40(升)瓶裝,標準充裝壓力:9.5 MPa,組分和濃度范圍可根據要求配制。
    產品詳情
    電子標準氣體

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    品名

    濃度 (%)

    平衡氣體

    壓力(MPa)

    容積(L)

    閥門

    硅烷混合氣體

    0.5-50

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    4-47

    可根據用戶要求提供

    磷烷混合氣體

    5ppm-23

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    0.7-17

    硼烷混合氣體

    5ppm-10

    Ar、N2、He、H2

    5-10

    4-17

    砷烷混合氣體

    5ppm-5

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    0.7-17

    硒化氫混合

    10ppm-5

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    4-17

    乙硅烷

    5ppm-2

    Ar、N2、He、H2

    ≥5

    0.7-17

    鍺烷

    5ppm-0.5

    Ar、N2、He、H2

    ≥5

    0.2-17

      包裝:1-40(升)瓶裝,標準充裝壓力:9.5 MPa,組分和濃度范圍可根據要求配制。

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    壓力(MPa)

    容積(L)

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    硅烷混合氣體

    0.5-50

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    4-47

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    Ar、N2、He、H2

    5-12

    0.7-17

    硼烷混合氣體

    5ppm-10

    Ar、N2、He、H2

    5-10

    4-17

    砷烷混合氣體

    5ppm-5

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    0.7-17

    硒化氫混合

    10ppm-5

    Ar、N2、He、H2

    5-12

    4-17

    乙硅烷

    5ppm-2

    Ar、N2、He、H2

    ≥5

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    Ar、N2、He、H2

    ≥5

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